Information × Registration Number 2112U001383, Article popup.category Thesis Title popup.author popup.publication 01-01-2012 popup.source_user Сумський державний університет popup.source http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/28538 popup.publisher Сумський державний університет Description Одним из современных методов поверхностной обработки материалов высокоэнергетическими частицами является ионная имплантация. Этот метод не зависит от пределов химической растворимости и концентрации материла примеси на поверхности кристалла, а также от температуры в процессе имплантации При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/28538 popup.nrat_date 2025-05-12 Close
Article
Thesis
:
published. 2012-01-01;
Сумський державний університет, 2112U001383