Інформація × Реєстраційний номер 2112U001383, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Thesis Назва роботи Математическая модель процесса ионной имплантации Автор Дата публікації 01-01-2012 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/28538 Видання Сумський державний університет Опис Одним из современных методов поверхностной обработки материалов высокоэнергетическими частицами является ионная имплантация. Этот метод не зависит от пределов химической растворимости и концентрации материла примеси на поверхности кристалла, а также от температуры в процессе имплантации При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/28538 Додано в НРАТ 2025-05-12 Закрити