Search academic texts

Information × Registration Number 2117U006701, Article popup.category Стаття, Опубліковано Title TECHNOLOGICAL DEFECTS OF SILICON SUB-FILM PRODUCTION FOR THE FUNCTIONAL REFLECTIVE SURFACES OF MOMES-SWITCHES popup.author Filipenko O. І.Chala O. О.Videshyn M. І.Filipenko O. I.Chala O. O.Videshyn M. I. popup.publication 30-12-2017 popup.source_user Національний університет «Полтавська політехніка імені Юрія Кондратюка» popup.source https://journals.nupp.edu.ua/sunz/article/view/670 popup.publisher Національний університет «Полтавська політехніка імені Юрія Кондратюка» Description У статті розглянуто основні дефекти та способи їх мінімізації, що виникають під час виробництва кремнієвих підкладок, які використовуються у якості функціональних відбиваючих поверхонь для МОЕМСперемикачів та безпосередньо впливають на якість оптичних дзеркал та внесені втрати у оптичну систему в цілому. popup.nrat_date 2026-04-19 Close