Search academic texts

Information × Registration Number 2120U003357, Article popup.category Master thesis Title popup.author popup.publication 01-01-2020 popup.source_user Сумський державний університет popup.source https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/82015 popup.publisher Сумський державний університет Description Мета роботи полягає у аналізі особливостей при розробці конструкції високочутливого напівпровідникового газового сенсору на основі тришарової плівки Pt/TiO2/Pt, у тому числі і на підкладці із гнучкого матеріалу, а також у вивченні його технічних характеристик, в тому числі при дії різних факторів. У роботі описані та проаналізовані особливості конструкції чутливого елементу напівпровідникового газового сенсора на основі тришарової плівки Pt/TiO2/Pt. Дана багатошарова плівкова система була отримана методом реактивного магнетронного розпилення на постійному струмі. Також при виготовленні сенсору виготовлявся метод фотолітографії. При вимірюванні електрофізичних властивостей сенсору (реакція зміни електроопору на концентрацію газу) використовувався автоматизований комплекс, що складається з газової камери, системи керування та реєстрації сигналу. Потік та концентрація газу були керовані двома контролерами, які керуються через програмне забезпечення. popup.nrat_date 2025-05-12 Close