Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2120U003357, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Master thesis Назва роботи Високочутливий газовий сенсор на основі тришарової плівки Pt/TiO2/Pt Автор Дата публікації 01-01-2020 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/82015 Видання Сумський державний університет Опис Мета роботи полягає у аналізі особливостей при розробці конструкції високочутливого напівпровідникового газового сенсору на основі тришарової плівки Pt/TiO2/Pt, у тому числі і на підкладці із гнучкого матеріалу, а також у вивченні його технічних характеристик, в тому числі при дії різних факторів. У роботі описані та проаналізовані особливості конструкції чутливого елементу напівпровідникового газового сенсора на основі тришарової плівки Pt/TiO2/Pt. Дана багатошарова плівкова система була отримана методом реактивного магнетронного розпилення на постійному струмі. Також при виготовленні сенсору виготовлявся метод фотолітографії. При вимірюванні електрофізичних властивостей сенсору (реакція зміни електроопору на концентрацію газу) використовувався автоматизований комплекс, що складається з газової камери, системи керування та реєстрації сигналу. Потік та концентрація газу були керовані двома контролерами, які керуються через програмне забезпечення. Додано в НРАТ 2025-05-12 Закрити