Search academic texts

Information × Registration Number 2121U004041, Article popup.category Бакалаврська робота Title popup.author popup.publication 01-01-2021 popup.source_user Сумський державний університет popup.source https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/84560 popup.publisher Сумський державний університет Description Об’єктом дослідження кваліфікаційної роботи є процес травлення матеріалів для виготовлення елементів мікросхем. Мета роботи полягає у дослідженні впливу умов травлення матеріалів на формування структури елементів мікро- та наноелектроніки при використанні комп’ютерного моделювання. Робота складається із вступу, трьох розділів основної частини та висновків. У першому розділі наведено огляд сучасних методів плазмового травлення матеріалів. У другому розділі розглядається методика комп’ютерного моделювання процесу травлення матеріалів за допомогою програмного пакету Silvaco TCAD. У третьому розділі наведено результати моделювання ізотропного та анізотропного травлення кремнію, а також метод реактивного іонного травлення. popup.nrat_date 2025-05-12 Close