Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2121U004041, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Бакалаврська робота Назва роботи Особливості процесу травлення матеріалів як базової інтегральної технології Автор Дата публікації 01-01-2021 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/84560 Видання Сумський державний університет Опис Об’єктом дослідження кваліфікаційної роботи є процес травлення матеріалів для виготовлення елементів мікросхем. Мета роботи полягає у дослідженні впливу умов травлення матеріалів на формування структури елементів мікро- та наноелектроніки при використанні комп’ютерного моделювання. Робота складається із вступу, трьох розділів основної частини та висновків. У першому розділі наведено огляд сучасних методів плазмового травлення матеріалів. У другому розділі розглядається методика комп’ютерного моделювання процесу травлення матеріалів за допомогою програмного пакету Silvaco TCAD. У третьому розділі наведено результати моделювання ізотропного та анізотропного травлення кремнію, а також метод реактивного іонного травлення. Додано в НРАТ 2025-05-12 Закрити