Search academic texts

Information × Registration Number 2123U003148, Article popup.category Бакалаврська робота Title popup.author Лугова Вероніка Олегівна popup.publication 01-01-2023 popup.source_user Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського» popup.source https://ela.kpi.ua/handle/123456789/60074 popup.publisher Київ Description Текстова частина дипломної роботи складає 51 сторінок, 21 рисунків та 30 літературних посилань. Об'єкт дослідження – метод електронної мікроскопії, за допомогою якого проводиться аналіз дефектів. Предмет дослідження – підповерхневі дефекти електронних компонентів та інтегральних схем. Мета роботи – вивчення можливостей застосування методу електронної мікроскопії для вияву і аналізу підповерхневих дефектів електронних компонентів та ІС, а також визначити типи та характеристики дефектів. Розглянути основні принципи цього методу, а також його використання. В роботі виконано огляд методів електронної мікроскопії, висвітлено їх переваги та недоліки у виявлення та аналізу підповерхневих дефектів електронних компонентів та ІС. Також наведений огляд підповерхневі дефекти і їх характеристики. Описано застосування методу скануючої електронної мікроскопії у поєднанні зі сфокусованим іонним пучком для виявлення підповерхневих дефектів електронних компонентів та ІС. popup.nrat_date 2025-01-29 Close