Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2123U003148, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Бакалаврська робота Назва роботи Метод електронної мікроскопії для дослідження підповерхневих дефектів електронних компонентів та ІС Автор Лугова Вероніка Олегівна Дата публікації 01-01-2023 Постачальник інформації Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського» Першоджерело https://ela.kpi.ua/handle/123456789/60074 Видання Київ Опис Текстова частина дипломної роботи складає 51 сторінок, 21 рисунків та 30 літературних посилань. Об'єкт дослідження – метод електронної мікроскопії, за допомогою якого проводиться аналіз дефектів. Предмет дослідження – підповерхневі дефекти електронних компонентів та інтегральних схем. Мета роботи – вивчення можливостей застосування методу електронної мікроскопії для вияву і аналізу підповерхневих дефектів електронних компонентів та ІС, а також визначити типи та характеристики дефектів. Розглянути основні принципи цього методу, а також його використання. В роботі виконано огляд методів електронної мікроскопії, висвітлено їх переваги та недоліки у виявлення та аналізу підповерхневих дефектів електронних компонентів та ІС. Також наведений огляд підповерхневі дефекти і їх характеристики. Описано застосування методу скануючої електронної мікроскопії у поєднанні зі сфокусованим іонним пучком для виявлення підповерхневих дефектів електронних компонентів та ІС. Додано в НРАТ 2025-01-29 Закрити