1 documents found
Information × Registration Number 2199U000262, Article popup.category Текст Title On the possibility of sputtering periodic structures by a nanosecond laser pulse (AI translated) popup.author Опачко Іван ІвановичOpachko Ivan Ivanovych popup.publication 01-01-1999 popup.source_user Ужгородський національний університет popup.source https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/21619 popup.publisher Ужгород: УжНУ Description В роботі експериментально показана можливість реалізації запропонованого режиму напилення тонкошарових періодичних структур з компонент лазерної плазми. Процес напилення здійснюється з фактів, створених на різних мішенях цугом лазерних імпульсів. Експериментально підтверджено критерій, який дає змогу забезпечити бефракційний "вибуховий" режим випаровування мішеней і отримувати багатошарові структури з різкими міжшаровими межами popup.nrat_date 2026-06-13 Close
Article
Текст
Опачко Іван Іванович. On the possibility of sputtering periodic structures by a nanosecond laser pulse (AI translated) : published. 1999-01-01; Ужгородський національний університет, 2199U000262
1 documents found

Updated: 2026-06-13