Information × Registration Number 2223U000149, Qualification work popup.category Магістерська робота Title popup.author Геращенко Сергій Васильович popup.publication 01-01-2023 popup.source_user Київський національний університет імені Тараса Шевченка popup.source https://ir.library.knu.ua/handle/123456789/8585 popup.publisher Description В роботі проведено моделювання магнетронного розряду в рамках одновимірної гібридної моделі. На основі запропонованої моделі створена програма на мові програмування С++ за допомогою якої проведені розрахунки задачі при різних значеннях тиску газу та величини магнітного поля. Одержані просторові розподіли параметрів концентрації заряджених частинок та потенціалу самоузгодженого електричного поля. Для розрахунку потоків електронів та йонів було використано дрейфово-дифузійне наближення з урахуванням магнітного поля. Досліджено вплив цих параметрів на процес іонізації атомів газу та умови підтримання магнетронного розряду. popup.nrat_date 2025-09-29 Close
search.res_vnz
Геращенко Сергій Васильович. :
published. 2023-01-01;
Київський національний університет імені Тараса Шевченка, 2223U000149