Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0107U002712, ( 0210U003499  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення технології отримання функціональної сенсорної МЕМС на основі наноструктурних п'єзоелектричних плівок нітриду алюмінія та сполук кремнія Керівник роботи Якименко Юрій Іванович, Дата реєстрації 22-03-2007 Організація виконавець Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського" Опис роботи Метою роботи є дослідження і розробка технології низькотемпературного синтезу наноструктурних п'єзоелектричних плівок нітриду алюмінія на підкладках кремнія та створення на їх основі функціональних мікроелектронних сенсорних МЕМС-елементів широкого призначення. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити
НДДКР РК
Розроблення технології отримання функціональної сенсорної МЕМС на основі наноструктурних п'єзоелектричних плівок нітриду алюмінія та сполук кремнія
Керівник: Якименко Юрій Іванович. Розроблення технології отримання функціональної сенсорної МЕМС на основі наноструктурних п'єзоелектричних плівок нітриду алюмінія та сполук кремнія. Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського". № 0107U002712
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-17


Роздрукувати цю сторінку