Знайдено документів: 1
Керівник: Мачулін Володимир Федорович. Розробка наукових основ технології отримання бездислокаційних монокристалів кремнію великого діаметра з використанням методу Чохральського та термообробок, які керують станом атомів кисню в кристалічній гратці.
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України. № 0109U007085
Знайдено документів: 1
Оновлено: 2026-03-19
