Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0207U004316, 0106U010494 , Науково-дослідна робота Назва роботи Відпрацювання базових технологічних операцій виготовлення КМОН кремнієвих схем зчитування інформації для багатоелементних лінійчатих фотоприймачів ІЧ-діапазону на основі МПЕ та РФЕ епітаксійних шарів. Назва етапу роботи Керівник роботи Деркач Юрій Петрович, Дата реєстрації 19-02-2007 Організація виконавець Державне підприємство "Науково-дослідний інститут мікроприладів" НТК "Інститут монокристалів" НАН України Опис етапу Проведений аналіз сучасних кремнієвих технологій по виготовленню НВІС схем зчитування для ІЧ-пристосування; розроблені технологічні маршрути на проектування та технологічне виготовлення схем зчитування по КМОН-технології з проектними нормами 2,4 мкм та 1.2 мкм; розроблені технологічні маршрути дають можливість виготовляти кремнієві НВІС зчитування інформації з ІЧ-фотодіодів форматом від 2х64 до 128х128. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити