Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0208U002545, 0105U003638 , Науково-дослідна робота Назва роботи Отримання та вивчення властивостей тонких плівок та покриттів на основі тугоплавких сполук та надтвердих матеріалів Назва етапу роботи Керівник роботи Дворіна Людмила Андріївна, Іващенко Володимир Іванович, Дата реєстрації 01-02-2008 Організація виконавець Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М.Францевича НАН України Опис етапу Вивчена еволюція структури та електрофізичних властивостей аморфних тонких плівок після термічної та лазерної обробки.Розроблена плазмохімічна технологія осадження дешевих твердих нанокомпозитних покриттів на основі SiCN та TiNC із застосуванням метилтрихлорсилану. Властивості плівок пояснені на основі експериментальних і теоретичних досліджень. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити