Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0212U006263, 0110U005752 , Науково-дослідна робота Назва роботи Модернізовані плазмодинамічні системи прецизійного синтезу нанорозмірних плівок металів та їх бінарних сполук. Назва етапу роботи Керівник роботи Гончаров Олексій Антонович, Дата реєстрації 12-03-2012 Організація виконавець Інститут фізики НАН України Опис етапу Виконано напилення наношарів двоокису титану різної фази. Встановлено параметри, що визначають отримання різних фаз двоокису титану у циліндричному магнетронному розряді постійного струму. Визначено контрольні параметри, що дозволяють утримувати процес синтезу стехіометричного покриття у реальному часі у заданій робочій точці. Експериментально показано вплив температури підкладки на формування шарів різної фази. Отримано наношари анатазу з фотокаталітичною активністю кращою за таку у отриманих хімічними методами. Методами рамановської спектрометрії показано існування полікристалічної фази анатазу у осаджених плівках. Опис продукції Встановлено перелік параметрів, що дозволяють утримувати робочу точку процесу осадження двоокису титану у реальному часі за покажчиками системи оптичного моніторингу. Встановлено режими одержання аморфної та полікристалічної плівки. Показано можливість одержання високоактивних фотокаталітичних покриттів. Автори роботи Гончаров Олексій Антонович Добровольський Андрій Миколайович Костін Євген Георгійович Проценко Іван Макарович Стеценко Борис Володимирович Фролова Олена Констянтинівна Щуренко Анатолія Іванівна Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити