Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0214U001169, 0111U001941 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження фізичних процесів у низькотемпературній плазмі високочастотних та дугових розрядів з магнітними полями в газах і парах металів Назва етапу роботи Керівник роботи Борисенко Анатолій Григорович, Дата реєстрації 22-01-2014 Організація виконавець Інститут ядерних досліджень НАН України Опис етапу В роботі викладені результати експериментальних досліджень основних характеристик та енергетичних спектрів іонів плазми несамостійного дугового розряду в парах нікелю при струмах розряду до 35А. Результати досліджень енергетичних спектрів іонів свідчать, що в створюваних плазмових потоках відсутні іони з енергіями, які перевищують або дорівнюють напрузі розряду. Встановлено також, що зі збільшенням струму розряду середні енергії іонів зменшуються. Показано, що даний тип розряду дозволяє створювати потоки нікелевої плазми без крапель робочої речовини. Доведено, що плазмові потоки мають компенсований об'ємний заряд. Тобто вони можуть бути використані для осадження плівок не лише на металеві та напівпровідникові, але й на діелектричні підкладинки. Визначені значення плаваючого потенціалу в створюваних плазмових потоках. Для різних струмів розряду наведені результати досліджень коефіцієнтів іонізації плазмових потоків, тобто частки іонів в загальному потоці і показано, що доля іонів в потоці плазми зростає при підвищені струму розряду. Визначені швидкості осадження нікелевих плівок в залежності від струму розряду. В умовах вакууму описуваний розряд дозволяє ефективно створювати безкрапельні і високоіонізовані плазмові потоки різних металів. При додатковому напуску газу у вакуумну камеру він здатен генерувати також потоки газометалевої плазми. Подібні плазмові джерела можуть бути використані при вирішенні різних завдань мікро- і наноелектроніки, а також в інших галузях промисловості. Опис продукції Розроблений метод дозволяє вимірювати енергетичні спектри іонів в плазмі дугових розрядів, що горять в металевій парі. Автори роботи Білодуб Анатолій Макарович Вірко Валерій Федорович Вірко Юрій Валерійович Войтенко Леонід Михайлович Костін Євген Григорович Літовко Ірина Валентинівна Подзірей Юрій Степанович Полозов Борис Павлович. Порицький Павло Віталійович Слободян В'ячеслав Михайлович Старчик Павло Денисович Федорович Олег Антонович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити