Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0219U003612, 0117U004855 , Науково-дослідна робота Назва роботи Фізичні принципи іонно-плазмового синтезу та керування властивостями наноструктурних складнокомпозиційних покриттів. Назва етапу роботи Керівник роботи Лісовський Валерій Олександрович, Дата реєстрації 07-02-2019 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис етапу У роботі проведено дослідження параметрів процесу реактивного іонно-плазмового синтезу плівок пентаоксиду танталу в кластерній багатофункціональній системі з ВЧІ джерелом іонів та магнетроном постійного струму. Проведено порівняльний аналіз параметрів плівок, отриманих при різних енергетичних умовах. Показано, що в залежності від методу, яким було отримано плівки, істотно змінюється кількість і енергія іонів та нейтральних частинок, що беруть участь в осадженні і формуванні плівки на поверхні підкладки. Це приводить до формування покриттів в різних структурних станах від аморфноподібного до нанокристалічного. Опис продукції Методом реактивного іонно-плазмового синтезу (РІПС) були нанесені покриття Та2О5 і Ta/Та2О5, на підкладку з нержавіючої сталі (AISI 316), які мали різні структурні і механічні властивості за рахунок різних умов осадження. Методом нереактивного магнетронного розпорошення композиційної мішені Ta-B були отримані стехіометричні нанокристаличні покриття ТаB2. Автори роботи В.О. Лісовський М.М. Юнаков Н.О. Єфименко О.В. Зиков С.В.Дудін С.Д. Яковін Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити