Реєстраційний номер
0219U003612,
0117U004855
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Фізичні принципи іонно-плазмового синтезу та керування властивостями наноструктурних складнокомпозиційних покриттів.
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Лісовський Валерій Олександрович,
Дата реєстрації
07-02-2019
Організація виконавець
Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна
Опис етапу
У роботі проведено дослідження параметрів процесу реактивного іонно-плазмового синтезу плівок пентаоксиду танталу в кластерній багатофункціональній системі з ВЧІ джерелом іонів та магнетроном постійного струму. Проведено порівняльний аналіз параметрів плівок, отриманих при різних енергетичних умовах. Показано, що в залежності від методу, яким було отримано плівки, істотно змінюється кількість і енергія іонів та нейтральних частинок, що беруть участь в осадженні і формуванні плівки на поверхні підкладки. Це приводить до формування покриттів в різних структурних станах від аморфноподібного до нанокристалічного.
Опис продукції
Методом реактивного іонно-плазмового синтезу (РІПС) були нанесені покриття Та2О5 і Ta/Та2О5, на підкладку з нержавіючої сталі (AISI 316), які мали різні структурні і механічні властивості за рахунок різних умов осадження. Методом нереактивного магнетронного розпорошення композиційної мішені Ta-B були отримані стехіометричні нанокристаличні покриття ТаB2.
Автори роботи
В.О. Лісовський
М.М. Юнаков
Н.О. Єфименко
О.В. Зиков
С.В.Дудін
С.Д. Яковін
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
