Знайдено документів: 1
Керівник: Петров Вячеслав Васильович. Дослідити та розробити технологію формування субмікронних структур сфокусованим лазерним випромінюванням. (Етап: ). Інститут проблем реєстрації інформації НАН України. № 0220U001077
Знайдено документів: 1
Оновлено: 2026-03-16
