Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0220U100413, 0118U000271 , Науково-дослідна робота Назва роботи Двовимірні періодичні наноструктури кремнію для МЕМС-сумісних інтегрованих мікроперетворювачів Назва етапу роботи Керівник роботи Єрохов Валерій Юрійович, Доктор технічних наук Дата реєстрації 17-01-2020 Організація виконавець Національний університет "Львівська політехніка" Опис етапу Розроблені концепції МЕМС-сумісних інтегрованих мікроперетворювачів на основі полікристалічного та ниткоподібного кремнію і пористих мікро- та наноструктур Si, Ge забезпечать створення спеціальної (2D) двовимірної структури кремнію та її монолітної інтеграції з функціональними пристроями, що дозволить виготовляти нові покоління частково або повністю автономних мікроелектромеханічних систем, які не мають вітчизняних аналогів  Опис продукції В результаті аналізу електрофізичних характеристик полікристалічного та ниткоподібного кремнію встановлено, що транспорт носіїв заряду в такому кремнії може бути описаний теорією слабкої локалізації за низьких температур. Взначено, що параметр Рашби (енергія спін-орбітальної взаємодії) становить sO = 1,6 меВ для полікристалічного та sO = 1,8 меВ для ниткоподібного кремнію відповідно. Запропоновано концепції інтегральних МЕМС-сумісних мікро- перетворювачів, зокрема концепцію у вигляді МНсК (мікролабораторію на кристалі) та у системах Smart Sensors з низькими рівнями власних шумів оптимізована конструкція МОН-транзистора, що значно покращить параметри пристроїв, розроблених на основі цих матеріалів. Окрім того проведений розрахунок ефективності перетворення на основі математичної моделі з врахуванням функціональних шарів пористого кремнію вказує на те, що максимальна значення ефективності фотоелектричного перетворення, яке можна досягти при використанні кремнієвих ФЕП з функціональним кремнієвим пористим шаром становить 29.7% за кімнатної температури; при підвищенні робочої температури фотоперетворювача теоретична межа ефективності фотоелектричного перетворення знижується, зокрема за температури 70оС, ефективність становить 25,7% Автори роботи Буджак Ярослав Степанович Дружинін Анатолій Олександрович Лук’янченко Антон Ігорович Лях-Кагуй Наталія Степанівна Мищишин Володимир Михайлович Нічкало Степан Ігорович Островський Ігор Петрович Темірова Олена Хадзимірівна Ховерко Юрій Миколайович Чекайло Михайло Володимирович Щербань Наталія Олексіївна Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити