Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0501U000234, Докторська дисертація

Назва роботи

Механізми формування тонких плівок, отримуваних різними методами іонно-плазмового осаджування

Здобувач

Шагінян Леонід Робертович,

На здобуття

д.ф.-м.н., 01.04.07, Фізика твердого тіла

Дата захисту

06-06-2001

Опис

Дисертація присвячена встановленню загальних закономірностей та виявленню найважливіших фізичних факторів, відповідальних за формування складу і структури плівок, отримуваних: реакційним термоіонним осаджуванням, різними модифікаціями магнетронного розпилення, методом активованого СВЧ-розрядом хімічного осадження і лазерного импульсного випаровування. Встановлено, що вид плівкоутворювальних частинок (атоми, молекули, атомні кластери) і енергія частинок, що находять на поверхню росту, для всіх методів осадження є універсальними факторами, що визначають їхній склад і структуру. Показано, що умовами, які визначають повну керованість властивостями плівок, є атомарний склад плівкоутворювальних частинок і регульована енергія частинок, що бомбардують поверхню росту. Отримані результати дозволяють прогнозувати характеристики плівок залежно від методу осаджування та усвідомлено підходити до їхнього керування. (див. продовження)