Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0501U000234, Докторська дисертація

На здобуття

д.ф.-м.н.

Дата захисту

06-06-2001

Статус

Запланована

Назва роботи

Механізми формування тонких плівок, отримуваних різними методами іонно-плазмового осаджування

Здобувач

Шагінян Леонід Робертович,

Керівник Курдюмов Олександр Вячеславович
Опонент Макара Володимир Арсентьєвич
Опонент Сидоренко Сергій Іванович
Опонент Саєнко Володимир Антонович

Опис

Дисертація присвячена встановленню загальних закономірностей та виявленню найважливіших фізичних факторів, відповідальних за формування складу і структури плівок, отримуваних: реакційним термоіонним осаджуванням, різними модифікаціями магнетронного розпилення, методом активованого СВЧ-розрядом хімічного осадження і лазерного импульсного випаровування. Встановлено, що вид плівкоутворювальних частинок (атоми, молекули, атомні кластери) і енергія частинок, що находять на поверхню росту, для всіх методів осадження є універсальними факторами, що визначають їхній склад і структуру. Показано, що умовами, які визначають повну керованість властивостями плівок, є атомарний склад плівкоутворювальних частинок і регульована енергія частинок, що бомбардують поверхню росту. Отримані результати дозволяють прогнозувати характеристики плівок залежно від методу осаджування та усвідомлено підходити до їхнього керування. (див. продовження)

Дата реєстрації

2001-06-06

Додано в НРАТ

2020-04-04