Search academic texts

Registration Number

0501U000234, Doctoral dissertation

Title

Formation Mechanisms of Thin Films Obtained by Different Types of Ion-Plasmous Deposition

Author

Shaginyan Leonid Robertovych,

popup.head Kurdyumov Oleksandr Vyacheslavovych
popup.opponent Макара Володимир Арсентьєвич
popup.opponent Сидоренко Сергій Іванович
popup.opponent Саєнко Володимир Антонович

Status

д.ф.-м.н., 01.04.07, Фізика твердого тіла

Date

06-06-2001

Description

Дисертація присвячена встановленню загальних закономірностей та виявленню найважливіших фізичних факторів, відповідальних за формування складу і структури плівок, отримуваних: реакційним термоіонним осаджуванням, різними модифікаціями магнетронного розпилення, методом активованого СВЧ-розрядом хімічного осадження і лазерного импульсного випаровування. Встановлено, що вид плівкоутворювальних частинок (атоми, молекули, атомні кластери) і енергія частинок, що находять на поверхню росту, для всіх методів осадження є універсальними факторами, що визначають їхній склад і структуру. Показано, що умовами, які визначають повну керованість властивостями плівок, є атомарний склад плівкоутворювальних частинок і регульована енергія частинок, що бомбардують поверхню росту. Отримані результати дозволяють прогнозувати характеристики плівок залежно від методу осаджування та усвідомлено підходити до їхнього керування. (див. продовження)