Search academic texts

Information × Registration Number 0516U000678, Doctoral dissertation Status д.т.н. Date 30-06-2016 popup.evolution o Title Methodological foundations of technology components Microelectromechanical systems Author Palagin Viktor Andriiovych, popup.head Nevliudov Igor Shakyrovych popup.opponent Овчаренко Віталій Євгенович popup.opponent Дружинін Анатолій Олександр. popup.opponent Уваров Борис Михайлович Description Об'єкт - технологічні процеси виробництва компонентів мікроелектромеханічних систем МЕМС. Мета - технологічні процеси виробництва компонентів мікроелектромеханічних систем МЕМС. Методи - математичні методи теорії подібності та розмірностей фізичних величин; електромеханічних аналогій у математичних моделях компонентів МЕМС; матрично-векторних операцій та марківських процесів; байєсівських статистичних рішень; теорія напружено-деформованого стану матеріалів і елементів МЕМС; САПР. Результати - вперше методологічними основами запропоновано визначити конвергенцію незвичайних фізичних явищ у мікромініатюрних виробах з урахуванням зменшення лінійних розмірів компонентів і зміни співвідношень дії різних видів сил; вперше запропоновані метод і технологія створення МЕМС багатозондових підмикальних пристроїв для контролю електричних параметрів багатошарових комутаційних структур; розвиток методу управління електрофізичними параметрами компонентів за різних поєднань діючих у МЕМС сил; - розвиток методу прогнозування та розрахунку виходу придатних компонентів МЕМС на основі базових елементів конструкції. Впроваджено - у наукову практику і навчальний процес ХНУРЭ, НДТІП, СКБ "Полісвіт", "Об'єднання Комунар", Харківський науково-дослідний інститут технології машинобудування", НВФ "ВЕСТ ЛАБС ЛТД", Корпорація ТРИОЛ ТОВ НВО "Вертикаль", "Titan Machinery Limited". Галузь використання - проектування технологічних процесів виробництва компонентів МЭМС Registration Date 2016-06-30 popup.nrat_date 2020-04-03 Close