Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2108U000208, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Стаття Назва роботи Взаємозв`язок електрофізичних властивостей та фазового складу плівок титану Автор Дата публікації 01-01-2008 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1139 Видання Видавництво СумДУ Опис Solomakha V.A., Chornous A.M. Correlation between electrophysical properties and phase composition of titanium thin films. The phase composition, crystal structure and electrophysical properties of films of the Ti after annealing to 920 K are investigated. Is shown, that on temperature dependence of resistivity the features related to processes of an oxidation in thin film samples are represented, and the oxidation temperature is dimensional dependent. У роботі досліджено фазовий склад, кристалічну структуру та електрофізичні властивості плівок титану після термообробки до 920 K. Показано, що на температурній залежності питомого опору мають місце особливості, пов`язані із процесами окислення у плівкових зразках, а температура окислення плівок є розмірно-залежною. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1139 Додано в НРАТ 2025-03-24 Закрити