Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2121U004035, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Бакалаврська робота Назва роботи Особливості процесу дифузії як базової інтегральної технології Автор Дата публікації 01-01-2021 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/84520 Видання Сумський державний університет Опис Об’єктом дослідження кваліфікаційної роботи є дифузійні технології, які використовуються у виробництві елементів електроніки. Мета роботи – дослiдження особливостей технологічного процесу дифузiї для виготовлення елементів електроніки та вивчення алгоритмів його моделювання в програмі Silvaco TCAD. Робота складається із вступу, трьох розділів основної частини та висновків. У першому розділі наведено основні варіанти використання дифузії в інтегральній мікроелектроніці та її актуальність. У другому розділі розглядається основний функціонал програмного середовища TCAD Silvaco, що використовується для моделювання процесу дифузії, а також додаткові пакети яке розширюють функціонал даного продукту. У третьому розділі були успішно спроектовані структурні моделі ефекту випромінювача, дифузії в полікристалічному кремнію на основі зерна, перехідної посиленої дифузії за допомогою кластерів <311> та в осадження фосфору оксиду з використанням POCl. Додано в НРАТ 2025-05-12 Закрити