Search academic texts

Information × Registration Number 0212U000357, 0110U001258 , R & D reports Title Synthesis of nanodimension films of nitride transitional metals by ion-plasma methods popup.stage_title Head Farenik Volodymyr Ivanovych, Registration Date 02-02-2012 Organization Scientific Center of Physical Technologies popup.description2 Ion-plasma methods in a controlled vacuum environment obtained by ultra-thin solid films of nitrides of transition metals, in particular, TiN, CrN, TaN on substrates treated with ion beam. Carried out a comprehensive study of the laws of the synthesis of nanosized transition metal nitride films using X-ray photoelectron spectroscopy with high resolution based on the data of Auger electron emission, secondary ion mass spectrometry and electron tunneling microscopy. Product Description popup.authors Антонов Олександр Володимирович Антонов Павло Володимирович Бабенко Людмила Володимирівна Бодельний Ілля Анатолійович Дробишевська Ганна Олександрівна Заварзін Володимир Васильович Кривонос Володимир Михайлович Молотко Роман В'ячеславович Рафальский Дмитро В'ячеславович Сергєєва Наталія Василівна Стервоєдов Андрій Миколайович Сухих Дмитро Юрійович Турчин Максим Павлович Харченко Надія Дмитрівна popup.nrat_date 2020-04-02 Close