Реєстраційний номер
0212U000357,
0110U001258
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Синтез нанорозмірних плівок нітридів перехідних металів іонно-плазмовими методами
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Фареник Володимир Іванович,
Дата реєстрації
02-02-2012
Організація виконавець
Науковий фізико-технологічний центр Міністерства освіти і науки та НАН України
Опис етапу
Іонно-плазмовими методами у контрольованому вакуумному середовищі отримано ультратонкі суцільні плівки нітридів перехідних металів, зокрема, TiN, CrN, TaN на підкладках оброблених іонним пучком. Здійснено комплексне дослідження закономірностей синтезу нанорозмірних плівок нітридів перехідних металів за допомогою рентгенівської фотоелектронної спектроскопії високої роздільної здатності з урахуванням даних емісії оже-електронів, вторинної іонної мас-спектрометрії електронної та тунельної мікроскопії.
Опис продукції
Синтезовано наноструктури на базі матеріалів електроніки з високими електрофізичними властивостями. Товщина плівок порядку 5 нм. Розроблено методи синтезу ультратонких плівок перехідних металів.
Автори роботи
Антонов Олександр Володимирович
Антонов Павло Володимирович
Бабенко Людмила Володимирівна
Бодельний Ілля Анатолійович
Дробишевська Ганна Олександрівна
Заварзін Володимир Васильович
Кривонос Володимир Михайлович
Молотко Роман В'ячеславович
Рафальский Дмитро В'ячеславович
Сергєєва Наталія Василівна
Стервоєдов Андрій Миколайович
Сухих Дмитро Юрійович
Турчин Максим Павлович
Харченко Надія Дмитрівна
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
