Звіт по науково-дослідній роботі. Васін Андрій Володимирович. Розробка та виготовлення автоматизованої системи позиціонування зразків, механізму розбалансування магнітного поля магнетрону та оптимізація пристроїв керування процесом вакуумного осадження під задачі нанотехнологій та мікроелектроніки. 1 етап. Розробка конструкторської документації, виготовлення деталей та монтаж вузлів керування процесом осадження.

Registration Number

0221U104794, 0120U104287 , R & D reports

Title

Development and fabrication of automated system for sample positioning, unballansing magnet system, and optimisation of driving units for vacuum deposition process for goals of nanotechnologies and microelectronics. Stage 1. Development of technical documentation, fabrication and installation of drivung units for deposition process.

popup.stage_title

Head

Vasin Andrii V., Доктор фізико-математичних наук

Registration Date

15-04-2021

Organization

V. Lashkaryov Institute of semiconductor physics

popup.description2

 Technical documentation for the mechanism of automatic movement of the moving magnet of the magnetron and the mechanism of the regulator of speed of vacuum pumping out of the working chamber VUP-5, and the mobile screen of the cathode unit have been developed. According to the developed design documentation, parts/devices were manufactured and installed in the working chamber of the VUP-5 unit

Product Description

popup.authors

Kysil Dmytro V.
Rusavsky Andriy V.
Stepanov Volodymyr H.

popup.nrat_date

2021-04-15