Як користуватися пошуком
НДДКР ОК
Розробка та виготовлення автоматизованої системи позиціонування зразків, механізму розбалансування магнітного поля магнетрону та оптимізація пристроїв керування процесом вакуумного осадження під задачі нанотехнологій та мікроелектроніки. 1 етап. Розробка конструкторської документації, виготовлення деталей та монтаж вузлів керування процесом осадження.
Керівник: Васін Андрій Володимирович. Розробка та виготовлення автоматизованої системи позиціонування зразків, механізму розбалансування магнітного поля магнетрону та оптимізація пристроїв керування процесом вакуумного осадження під задачі нанотехнологій та мікроелектроніки. 1 етап. Розробка конструкторської документації, виготовлення деталей та монтаж вузлів керування процесом осадження.. (Етап: ). Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України. № 0221U104794

Оновлено: 2026-10-21


Роздрукувати цю сторінку