Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0221U104794, 0120U104287 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка та виготовлення автоматизованої системи позиціонування зразків, механізму розбалансування магнітного поля магнетрону та оптимізація пристроїв керування процесом вакуумного осадження під задачі нанотехнологій та мікроелектроніки. 1 етап. Розробка конструкторської документації, виготовлення деталей та монтаж вузлів керування процесом осадження. Назва етапу роботи Керівник роботи Васін Андрій Володимирович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 15-04-2021 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу  Розроблено конструкторську документацію на механізм автоматичного переміщення рухомого магніту магнетрону, механізму регулятора швидкості вакуумного відкачування робочої камери ВУП-5, рухомого екрану катодного вузла. По розробленій конструкторській документації виготовлені деталі/пристрої, та встановлені у робочу камеру установки ВУП-5. Опис продукції Автори роботи Кисіль Дмитро Вадимович Русавський Андрії Вадимович Стєпанов Володимир Григорович Додано в НРАТ 2021-04-15 Закрити
НДДКР ОК
Розробка та виготовлення автоматизованої системи позиціонування зразків, механізму розбалансування магнітного поля магнетрону та оптимізація пристроїв керування процесом вакуумного осадження під задачі нанотехнологій та мікроелектроніки. 1 етап. Розробка конструкторської документації, виготовлення деталей та монтаж вузлів керування процесом осадження.
Керівник: Васін Андрій Володимирович. Розробка та виготовлення автоматизованої системи позиціонування зразків, механізму розбалансування магнітного поля магнетрону та оптимізація пристроїв керування процесом вакуумного осадження під задачі нанотехнологій та мікроелектроніки. 1 етап. Розробка конструкторської документації, виготовлення деталей та монтаж вузлів керування процесом осадження.. (Етап: ). Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України. № 0221U104794
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-20


Роздрукувати цю сторінку