Звіт по науково-дослідній роботі. Васін Андрій Володимирович. Розробка та виготовлення автоматизованої системи позиціонування зразків, механізму розбалансування магнітного поля магнетрону та оптимізація пристроїв керування процесом вакуумного осадження під задачі нанотехнологій та мікроелектроніки Етап 2: «Виготовлення механізму переміщення розбалансуючого магніту та розробка конструкторської документації на скануючий тримач зразків»

Registration Number

0222U002946, 0122U000571 , R & D reports

Title

Development and manufacture of an automated positioning system for samples, a mechanism for unbalancing the magnetic field of the magnetron and optimization of control devices for the process of vacuum deposition for nanotechnology and microelectronics Stage 2: "Production of the mechanism for moving the unbalancing magnet and development of design documentation for the scanning sample holder

popup.stage_title

Head

Vasin Andrii V., д.ф.-м.н.

Registration Date

16-02-2022

Organization

VE Lashkarev Institute of Semiconductor Physics of the National Academy of Sciences of Ukraine

popup.description2

 According to the developed design documentation the mechanism of automatic movement of the unbalancing magnet of the magnetron with the indicator of its position was made and established on VUP-5. Installation of the mechanism of automatic movement of the unbalancing magnet of the magnetron with the indicator of its position on VUP-5 ISP NASU was carried out. Design documentation was developed for the sample holder (table) with the mechanism of its controlled movement in the direction and speed in two coordinates, and for the power supplies of the mechanisms

Product Description

popup.authors

Kysil Dmytro V
Rusavsky Andriy Vadymovych
Stepanov Volodymyr H

popup.nrat_date

2022-03-09