Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0222U002946, 0122U000571 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка та виготовлення автоматизованої системи позиціонування зразків, механізму розбалансування магнітного поля магнетрону та оптимізація пристроїв керування процесом вакуумного осадження під задачі нанотехнологій та мікроелектроніки Етап 2: «Виготовлення механізму переміщення розбалансуючого магніту та розробка конструкторської документації на скануючий тримач зразків» Назва етапу роботи Керівник роботи Васін Андрій Володимирович, д.ф.-м.н. Дата реєстрації 16-02-2022 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В. Є. Лашкарьова Національної академії наук України Опис етапу  По розробленій конструкторській документації був виготовлений та встановлений на ВУП-5 механізм автоматичного переміщення розбалансуючого магніту магнетрона з індикатором його положення. Був проведений монтаж механізму автоматичного переміщення розбалансуючого магніту магнетрона з індикатором його положення на ВУП-5 ІФН НАНУ. Була розроблена конструкторська документація на тримач зразків(столик) з механізмом його керованого переміщення по напряму та швидкості по двом координатам, та на блоки живлення механізмів. Опис продукції Автори роботи Кисіль Дмитро Вадимович Русавський Андрій Вадимович Стєпанов Володимир Григорович Додано в НРАТ 2022-03-09 Закрити
НДДКР ОК
Розробка та виготовлення автоматизованої системи позиціонування зразків, механізму розбалансування магнітного поля магнетрону та оптимізація пристроїв керування процесом вакуумного осадження під задачі нанотехнологій та мікроелектроніки Етап 2: «Виготовлення механізму переміщення розбалансуючого магніту та розробка конструкторської документації на скануючий тримач зразків»
Керівник: Васін Андрій Володимирович. Розробка та виготовлення автоматизованої системи позиціонування зразків, механізму розбалансування магнітного поля магнетрону та оптимізація пристроїв керування процесом вакуумного осадження під задачі нанотехнологій та мікроелектроніки Етап 2: «Виготовлення механізму переміщення розбалансуючого магніту та розробка конструкторської документації на скануючий тримач зразків». (Етап: ). Інститут фізики напівпровідників імені В. Є. Лашкарьова Національної академії наук України. № 0222U002946
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-19


Роздрукувати цю сторінку