Як користуватися пошуком
НДДКР ОК
Розробка та виготовлення автоматизованої системи позиціонування зразків, механізму розбалансування магнітного поля магнетрону та оптимізація пристроїв керування процесом вакуумного осадження під задачі нанотехнологій та мікроелектроніки Етап 2: «Виготовлення механізму переміщення розбалансуючого магніту та розробка конструкторської документації на скануючий тримач зразків»
Керівник: Васін Андрій Володимирович. Розробка та виготовлення автоматизованої системи позиціонування зразків, механізму розбалансування магнітного поля магнетрону та оптимізація пристроїв керування процесом вакуумного осадження під задачі нанотехнологій та мікроелектроніки Етап 2: «Виготовлення механізму переміщення розбалансуючого магніту та розробка конструкторської документації на скануючий тримач зразків». (Етап: ). Інститут фізики напівпровідників імені В. Є. Лашкарьова Національної академії наук України. № 0222U002946

Оновлено: 2026-10-21


Роздрукувати цю сторінку