Registration Number
0409U003222, Candidate dissertation
Status
к.т.н.
Date
03-06-2009
popup.evolution
.
Title
Perfection of piezoceramic scanners of probe nanomicroscopes
Author
Filimonov Serhiy Olexandrovych,
popup.head Sharapov Valeriy Mihaylovich
popup.opponent Кочкарьов Юрій Олександрович
popup.opponent Курмашев Шаміль Джамашевич
popup.rada
Cherkasy State Tehnological University
Description
Об'єкт дослідження - процеси сканування зондових наномікроскопів. Предмет дослідження - п'єзокерамічні сканери для зондових наномікроскопів. Мета роботи - розробка методів і засобів вдосконалення п'єзокерамічних сканерів зондових наномікроскопів та на цій основі створення сканерів з кращими характеристиками. Розроблений метод покращення позиціонування п'єзокерамічних сканерів за рахунок зменшення зв'язку між актуаторами. Зменшення взаємного зв'язку між актуаторами сканера досягнуто завдяки розділенню актуаторів один від одного, а також за рахунок застосування плоских пружних пластин, що мають різну жорсткість по координатах X і Y. В дисертаційній роботі побудовані і досліджені математичні і комп'ютерні моделі трубчатого п'єзокерамічного сканеру, п'єзокерамічного сканеру на основі планарних біморфних п'єзоелементів, та п'єзокерамічного сканеру на основі біморфного планарного камертону. Побудовані також комп'ютерні моделі для візуалізації переміщень розроблених п'єзокерамічних сканерів.
Registration Date
2009-06-22
popup.nrat_date
2020-04-04 / 2026-06-30
