Реєстраційний номер
0409U003222, Кандидатська дисертація
На здобуття
к.т.н.
Дата захисту
03-06-2009
Статус
Захищена
Назва роботи
Вдосконалення п'єзокерамічних сканерів для зондових наномікроскопів
Здобувач
Філімонов Сергій Олександрович,
Керівник Шарапов Валерій Михайлович
Опонент Кочкарьов Юрій Олександрович
Опонент Курмашев Шаміль Джамашевич
Установа, організація, у вченій раді якої відбудеться/відбувся захист
Черкаський державний технологічний університет
Опис
Об'єкт дослідження - процеси сканування зондових наномікроскопів. Предмет дослідження - п'єзокерамічні сканери для зондових наномікроскопів. Мета роботи - розробка методів і засобів вдосконалення п'єзокерамічних сканерів зондових наномікроскопів та на цій основі створення сканерів з кращими характеристиками. Розроблений метод покращення позиціонування п'єзокерамічних сканерів за рахунок зменшення зв'язку між актуаторами. Зменшення взаємного зв'язку між актуаторами сканера досягнуто завдяки розділенню актуаторів один від одного, а також за рахунок застосування плоских пружних пластин, що мають різну жорсткість по координатах X і Y. В дисертаційній роботі побудовані і досліджені математичні і комп'ютерні моделі трубчатого п'єзокерамічного сканеру, п'єзокерамічного сканеру на основі планарних біморфних п'єзоелементів, та п'єзокерамічного сканеру на основі біморфного планарного камертону. Побудовані також комп'ютерні моделі для візуалізації переміщень розроблених п'єзокерамічних сканерів.
Дата реєстрації
2009-06-22
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-04 / 2026-06-30
