Search academic texts

Information × Registration Number 0411U006502, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 25-10-2011 popup.evolution o Title The formation and diagnostics of ion beams for surface modification ion-beam techniques Author Silkin Mykhaylo Yuriyovych, popup.head Styervoyedov Mykola Grygorovych popup.opponent Бізюков Олександр Анатолійович popup.opponent Батурін Володимир Андрійович Description Дисертація присвячена розробці методів формування та діагностики пучків іонів для сучасних задач іонної імплантації та іонно-стимульованого осадження. Методом чисельного (PIC - Particle-in-Cell) моделювання досліджена динаміка частинок плазмово-пучкового потоку в аноді з експандером джерела іонів. На підставі експериментальних та чисельних досліджень оптимізовано параметри емісійно-фокусуючої системи джерела іонів з перерозподілювальним електродом. Роз-роблено газо-металеве джерело іонів зі стабільними характеристиками, сформовані пучки та реалі-зований широтно-імпульсний режим роботи джерела з програмованим відношенням газової та ме-талевої компоненти іонного струму в імпульсі. Експериментально встановлена залежність інтенси-вності акустичної емісії та амплітудного спектру від дози імплантації іонів азоту у сплав WC-6Co. На підставі досліджених залежностей акустичної емісії запропонований та реалізований альтерна-тивний електричному, радіаційно-акустичний метод контролю іонного опромінювання та пучка іо-нів. Створено монітор широких пучків іонів та вдосконалено стандартні методи діагностики пучка та процесу іонно-променевої обробки. Registration Date 2011-10-25 popup.nrat_date 2020-04-04 Close