Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0411U006502, Кандидатська дисертація На здобуття к.ф.-м.н. Дата захисту 25-10-2011 Статус Запланована Назва роботи Формування та діагностика пучків іонів для іонно-променевих методів модифікації поверхні Здобувач Сілкін Михайло Юрійович, Керівник Стєрвоєдов Микола Григорович Опонент Бізюков Олександр Анатолійович Опонент Батурін Володимир Андрійович Опис Дисертація присвячена розробці методів формування та діагностики пучків іонів для сучасних задач іонної імплантації та іонно-стимульованого осадження. Методом чисельного (PIC - Particle-in-Cell) моделювання досліджена динаміка частинок плазмово-пучкового потоку в аноді з експандером джерела іонів. На підставі експериментальних та чисельних досліджень оптимізовано параметри емісійно-фокусуючої системи джерела іонів з перерозподілювальним електродом. Роз-роблено газо-металеве джерело іонів зі стабільними характеристиками, сформовані пучки та реалі-зований широтно-імпульсний режим роботи джерела з програмованим відношенням газової та ме-талевої компоненти іонного струму в імпульсі. Експериментально встановлена залежність інтенси-вності акустичної емісії та амплітудного спектру від дози імплантації іонів азоту у сплав WC-6Co. На підставі досліджених залежностей акустичної емісії запропонований та реалізований альтерна-тивний електричному, радіаційно-акустичний метод контролю іонного опромінювання та пучка іо-нів. Створено монітор широких пучків іонів та вдосконалено стандартні методи діагностики пучка та процесу іонно-променевої обробки. Дата реєстрації 2011-10-25 Додано в НРАТ 2020-04-04 Закрити