Кандидатська дисертація. Сілкін Михайло Юрійович. Формування та діагностика пучків іонів для іонно-променевих методів модифікації поверхні

Registration Number

0411U006502, Candidate dissertation

Status

к.ф.-м.н.

Date

25-10-2011

popup.evolution

.

Title

The formation and diagnostics of ion beams for surface modification ion-beam techniques

Author

Silkin Mykhaylo Yuriyovych,

popup.head Styervoyedov Mykola Grygorovych
popup.opponent Бізюков Олександр Анатолійович
popup.opponent Батурін Володимир Андрійович

popup.rada

National Science Center "Kharkiv Institute of Physics and Technology

Description

Дисертація присвячена розробці методів формування та діагностики пучків іонів для сучасних задач іонної імплантації та іонно-стимульованого осадження. Методом чисельного (PIC - Particle-in-Cell) моделювання досліджена динаміка частинок плазмово-пучкового потоку в аноді з експандером джерела іонів. На підставі експериментальних та чисельних досліджень оптимізовано параметри емісійно-фокусуючої системи джерела іонів з перерозподілювальним електродом. Роз-роблено газо-металеве джерело іонів зі стабільними характеристиками, сформовані пучки та реалі-зований широтно-імпульсний режим роботи джерела з програмованим відношенням газової та ме-талевої компоненти іонного струму в імпульсі. Експериментально встановлена залежність інтенси-вності акустичної емісії та амплітудного спектру від дози імплантації іонів азоту у сплав WC-6Co. На підставі досліджених залежностей акустичної емісії запропонований та реалізований альтерна-тивний електричному, радіаційно-акустичний метод контролю іонного опромінювання та пучка іо-нів. Створено монітор широких пучків іонів та вдосконалено стандартні методи діагностики пучка та процесу іонно-променевої обробки.

Registration Date

2011-11-07

popup.nrat_date

2020-04-04 / 2026-06-30