Registration Number
0419U005083, Candidate dissertation
Status
Кандидат хімічних наук
Date
04-12-2019
popup.evolution
.
Title
Physico-chemical interaction of CdTe single crystals and ZnxCd1-xTe and CdxHg1-xTe solid solutions with K2Cr2O7 – mineral acid – solvent etching compositions
Author
Chayka Mikola V., Кандидат хімічних наук
popup.head Tomashyk Vasyl M.
popup.opponent Aksimentyeva Olena I.
popup.opponent Sudavtsova Valentyna S.
popup.rada
Institute for Problems in Materials Science
Description
Встановлено закономірності фізико-хімічної взаємодії монокристалів CdTe та твердих розчинів ZnxCd1-xTe і СdxHg1-xTe з водними розчинами систем K2Cr2O7 – мінеральна кислота – розчинник. Визначено вплив органічного компонента та природи напівпровідників на швидкість і характер розчинення, стан обробленої поверхні цих монокристалів. Виявлено, що їх взаємодія з полірувальними розчинами лімітується стадією дифузії. Із аналізу залежностей швидкості полірування від температури підтверджено існування компенсаційного ефекту в кінетиці хімічного розчинення СdTe, ZnxCd1-xTe і СdxHg1-xTe у бромвиділяючих розчинах K2Cr2O7– HBr – розчинник. Досліджено процес хіміко-механічного полірування поверхні напівпровідників травильними композиціями K2Cr2O7 – HBr – ЕГ (C4H6O6) і встановлено вплив природи модифікаторів в’язкості на швидкість розчинення та стан полірованої поверхні.
Створено серію нових повільних полірувальних травників з контрольованою швидкістю розчинення досліджуваних матеріалів (0,1-10,3 мкм/хв), що дозволяє використовувати їх для потоншення пластин до заданих розмірів, зняття тонких шарів матеріалу та фінішної обробки поверхні монокристалів і плівок.
Ключові слова: хімічне розчинення, бромвиділяючі розчини, поверхня, тверді розчини, травлення, полірування, травильні композиції.
Registration Date
2019-12-06
popup.nrat_date
2020-04-03 / 2026-06-30
