Реєстраційний номер
0419U005083, Кандидатська дисертація
На здобуття
Кандидат хімічних наук
Дата захисту
04-12-2019
Статус
Захищена
Назва роботи
Фізико-хімічна взаємодія монокристалів СdTe та твердих розчинів ZnxCd1-xTe і CdxHg1-xTe з травильними композиціями K2Cr2O7 – мінеральна кислота – розчинник
Здобувач
Чайка Микола Володимирович, Кандидат хімічних наук
Керівник Томашик Василь Миколайович
Опонент Аксіментьєва Олена Ігоріна
Опонент Судавцова Валентина Савелівна
Установа, організація, у вченій раді якої відбудеться/відбувся захист
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М.Францевича Національної академії наук України
Опис
Встановлено закономірності фізико-хімічної взаємодії монокристалів CdTe та твердих розчинів ZnxCd1-xTe і СdxHg1-xTe з водними розчинами систем K2Cr2O7 – мінеральна кислота – розчинник. Визначено вплив органічного компонента та природи напівпровідників на швидкість і характер розчинення, стан обробленої поверхні цих монокристалів. Виявлено, що їх взаємодія з полірувальними розчинами лімітується стадією дифузії. Із аналізу залежностей швидкості полірування від температури підтверджено існування компенсаційного ефекту в кінетиці хімічного розчинення СdTe, ZnxCd1-xTe і СdxHg1-xTe у бромвиділяючих розчинах K2Cr2O7– HBr – розчинник. Досліджено процес хіміко-механічного полірування поверхні напівпровідників травильними композиціями K2Cr2O7 – HBr – ЕГ (C4H6O6) і встановлено вплив природи модифікаторів в’язкості на швидкість розчинення та стан полірованої поверхні.
Створено серію нових повільних полірувальних травників з контрольованою швидкістю розчинення досліджуваних матеріалів (0,1-10,3 мкм/хв), що дозволяє використовувати їх для потоншення пластин до заданих розмірів, зняття тонких шарів матеріалу та фінішної обробки поверхні монокристалів і плівок.
Ключові слова: хімічне розчинення, бромвиділяючі розчини, поверхня, тверді розчини, травлення, полірування, травильні композиції.
Дата реєстрації
2019-12-06
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-03 / 2026-06-30
