1 documents found
Information × Registration Number 0421U103151, Candidate dissertation Status Кандидат технічних наук Date 12-05-2021 popup.evolution o Title Development of mass spectrometry techniques for the study of dielectric matrices and stressed nanoscale structures Author Kosulia Oleksandr V., popup.head Verbytskyi Volodymyr H. popup.opponent Bolshakova Inessa A. popup.opponent Horiachko Andrii M. Description В дисертації розроблено математичну модель та конструкцію мікроелектронного координатно-чутливого детектора для лазерного мас-спектрометра, що дозволяє проводити елементний та ізотопний аналіз в реальному масштабі часу без спеціальної підготовки проб, зокрема діелектричних матриць. Отримано актуальні структури, а саме: багатошарові нанорозмірні структури (БНС) та тонкі плівки. Проведено порівння чутливості по елементах різних мас-спектрометричних методик на на основі аналізу стандартизованого зразка сталі РГ 27 та розроблено комплекс мас-спектрометричних методик для дослідження впливу фазового складу тонких оксидних плівок на інтенсивність сигналів кластерних іонів та розподілу домішок поблизу границь розділу в БНС. Досліджено вплив деформаційних полів на величину коефіцієнта розпилення. Наведено експериментальні результати та розроблена теоретична модель, яка пояснює вплив полів деформацій на коефіцієнт виходу іонів. Registration Date 2021-06-07 popup.nrat_date 2021-06-07 Close
Candidate dissertation
1
Kosulia Oleksandr V.. Development of mass spectrometry techniques for the study of dielectric matrices and stressed nanoscale structures : Кандидат технічних наук : spec.. 05.27.06 - Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки : presented. 2021-05-12; popup.evolution: .; VE Lashkarev Institute of Semiconductor Physics of the National Academy of Sciences of Ukraine. – Київ, 0421U103151.
1 documents found

Updated: 2026-03-22