Реєстраційний номер
0421U103151, Кандидатська дисертація
На здобуття
Кандидат технічних наук
Дата захисту
12-05-2021
Статус
Захищена
Назва роботи
Розробка методик мас-спектрометрії для дослідження діелектричних матриць та напружених нанорозмірних структур
Здобувач
Косуля Олександр Валерійович,
Керівник Вербицький Володимир Григорович
Опонент Большакова Інесса Антонівна
Опонент Горячко Андрій Миколайович
Установа, організація, у вченій раді якої відбудеться/відбувся захист
Інститут фізики напівпровідників імені В. Є. Лашкарьова Національної академії наук України
Опис
В дисертації розроблено математичну модель та конструкцію мікроелектронного координатно-чутливого детектора для лазерного мас-спектрометра, що дозволяє проводити елементний та ізотопний аналіз в реальному масштабі часу без спеціальної підготовки проб, зокрема діелектричних матриць. Отримано актуальні структури, а саме: багатошарові нанорозмірні структури (БНС) та тонкі плівки. Проведено порівння чутливості по елементах різних мас-спектрометричних методик на на основі аналізу стандартизованого зразка сталі РГ 27 та розроблено комплекс мас-спектрометричних методик для дослідження впливу фазового складу тонких оксидних плівок на інтенсивність сигналів кластерних іонів та розподілу домішок поблизу границь розділу в БНС. Досліджено вплив деформаційних полів на величину коефіцієнта розпилення. Наведено експериментальні результати та розроблена теоретична модель, яка пояснює вплив полів деформацій на коефіцієнт виходу іонів.
Дата реєстрації
2021-06-07
Додано/оновлено в НРАТ
2021-06-07 / 2026-06-30
