Registration Number
0421U103151, Candidate dissertation
Status
Кандидат технічних наук
Date
12-05-2021
popup.evolution
.
Title
Development of mass spectrometry techniques for the study of dielectric matrices and stressed nanoscale structures
Author
Kosulia Oleksandr V.,
popup.head Verbytskyi Volodymyr H.
popup.opponent Bolshakova Inessa A.
popup.opponent Horiachko Andrii M.
popup.rada
VE Lashkarev Institute of Semiconductor Physics of the National Academy of Sciences of Ukraine
Description
В дисертації розроблено математичну модель та конструкцію мікроелектронного координатно-чутливого детектора для лазерного мас-спектрометра, що дозволяє проводити елементний та ізотопний аналіз в реальному масштабі часу без спеціальної підготовки проб, зокрема діелектричних матриць. Отримано актуальні структури, а саме: багатошарові нанорозмірні структури (БНС) та тонкі плівки. Проведено порівння чутливості по елементах різних мас-спектрометричних методик на на основі аналізу стандартизованого зразка сталі РГ 27 та розроблено комплекс мас-спектрометричних методик для дослідження впливу фазового складу тонких оксидних плівок на інтенсивність сигналів кластерних іонів та розподілу домішок поблизу границь розділу в БНС. Досліджено вплив деформаційних полів на величину коефіцієнта розпилення. Наведено експериментальні результати та розроблена теоретична модель, яка пояснює вплив полів деформацій на коефіцієнт виходу іонів.
Registration Date
2021-06-07
popup.nrat_date
2021-06-07 / 2026-06-30
