Search academic texts

Information × Registration Number 0493U002702, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 30-11-1993 popup.evolution o Title Author Хруцкий Владимир Константинович, popup.head Новоминский Б.Л. popup.head Лутов С.Д. popup.opponent Черепин В.Т. popup.opponent Воробьев Ю.В. Description Объект исследования: Структуры кремний-диэлектрик, методика автоматизированных измерений. Цель исследования: Повышение экспрессности и точности измерений, изучение влияния технологических операций на электрофизические параметры. Методы исследования и аппаратура: Фотомагнитный эффект, вольт-фарадные методики, автоматизированный комлпекс. Теоретические результаты и новизна: Определение области оптимальных режимов формирования и обработки слоев диоксида и нитрида кремния. Практические результаты и новизна: Разработана методика автоматизированного измерения спектральной зависимости э.д.с. фотомагнитного эффекта. Предмет и степень внедрения: Автоматизированная методика определения рекомбинационных параметров. Сфера (область) использования: Микроэлектронная и радиоэлектронная промышленность. Registration Date 1993-04-04 popup.nrat_date 2021-03-17 Close