Registration Number
0493U002702, Candidate dissertation
Status
к.т.н.
Date
30-11-1993
popup.evolution
.
Title
Author
Хруцкий Владимир Константинович,
popup.head Новоминский Б.Л.
popup.head Лутов С.Д.
popup.opponent Черепин В.Т.
popup.opponent Воробьев Ю.В.
popup.rada
Description
Объект исследования: Структуры кремний-диэлектрик, методика автоматизированных измерений. Цель исследования: Повышение экспрессности и точности измерений, изучение влияния технологических операций на электрофизические параметры. Методы исследования и аппаратура: Фотомагнитный эффект, вольт-фарадные методики, автоматизированный комлпекс. Теоретические результаты и новизна: Определение области оптимальных режимов формирования и обработки слоев диоксида и нитрида кремния. Практические результаты и новизна: Разработана методика автоматизированного измерения спектральной зависимости э.д.с. фотомагнитного эффекта. Предмет и степень внедрения: Автоматизированная методика определения рекомбинационных параметров. Сфера (область) использования: Микроэлектронная и радиоэлектронная промышленность.
Registration Date
2000-04-04
popup.nrat_date
2021-03-18 / 2026-06-30
