Реєстраційний номер
0493U002702, Кандидатська дисертація
На здобуття
к.т.н.
Дата захисту
30-11-1993
Статус
Захищена
Назва роботи
Исследование электрофизических свойств структур кремний-диэлектрик с использованием автоматизированного комлпекса
Здобувач
Хруцкий Владимир Константинович,
Керівник Новоминский Б.Л.
Керівник Лутов С.Д.
Опонент Черепин В.Т.
Опонент Воробьев Ю.В.
Установа, організація, у вченій раді якої відбудеться/відбувся захист
Институт проблем материаловедения им. И. Н. Францевича НАН Украины
Опис
Объект исследования: Структуры кремний-диэлектрик, методика автоматизированных измерений. Цель исследования: Повышение экспрессности и точности измерений, изучение влияния технологических операций на электрофизические параметры. Методы исследования и аппаратура: Фотомагнитный эффект, вольт-фарадные методики, автоматизированный комлпекс. Теоретические результаты и новизна: Определение области оптимальных режимов формирования и обработки слоев диоксида и нитрида кремния. Практические результаты и новизна: Разработана методика автоматизированного измерения спектральной зависимости э.д.с. фотомагнитного эффекта. Предмет и степень внедрения: Автоматизированная методика определения рекомбинационных параметров. Сфера (область) использования: Микроэлектронная и радиоэлектронная промышленность.
Дата реєстрації
2000-04-04
Додано/оновлено в НРАТ
2021-03-18 / 2026-06-30
