Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0493U002702, Кандидатська дисертація На здобуття к.т.н. Дата захисту 30-11-1993 Статус Запланована Назва роботи Исследование электрофизических свойств структур кремний-диэлектрик с использованием автоматизированного комлпекса Здобувач Хруцкий Владимир Константинович, Керівник Новоминский Б.Л. Керівник Лутов С.Д. Опонент Черепин В.Т. Опонент Воробьев Ю.В. Опис Объект исследования: Структуры кремний-диэлектрик, методика автоматизированных измерений. Цель исследования: Повышение экспрессности и точности измерений, изучение влияния технологических операций на электрофизические параметры. Методы исследования и аппаратура: Фотомагнитный эффект, вольт-фарадные методики, автоматизированный комлпекс. Теоретические результаты и новизна: Определение области оптимальных режимов формирования и обработки слоев диоксида и нитрида кремния. Практические результаты и новизна: Разработана методика автоматизированного измерения спектральной зависимости э.д.с. фотомагнитного эффекта. Предмет и степень внедрения: Автоматизированная методика определения рекомбинационных параметров. Сфера (область) использования: Микроэлектронная и радиоэлектронная промышленность. Дата реєстрації 1993-04-04 Додано в НРАТ 2021-03-17 Закрити