Registration Number
0493U003366, Candidate dissertation
Status
к.ф.-м.н.
Date
25-09-1993
popup.evolution
.
Title
Author
Балабай Руслана Михайловна,
popup.head Кив А.Ю.
popup.opponent Даховский И.В.
popup.opponent Тимофеенко В.В.
popup.rada
Description
Объект исследования: Кристалл кремния с высокой концентрацией примесей: фосфор, бор, водород и вакансионных коплек. Цель исследования: Теоретическое исследование микроскопических механизмов создания и эволюции примесно-дефектных комплексов в условиях китического насыщения кремния дефектами. Методы исследования и аппаратура: Методы функционала электронной плотности и псевдопотенциала с первых принципов. Электронно-вычислительные машины. Теоретические результаты и новизна: В рамках разработанной модели, которая описывает кристалл кремния с концентрацией дефектов, вычислены потенциальные рельефы для смещения сосбтвенных и примесных атомов. Практические результаты и новизна: Получены результаты помогут предвидеть своства сильно легированного кремния, оптимизировать процессы высокодозной ионной имплантации. Сфера (область) использования: Полупроводниковая электронная техника и технология.
Registration Date
1999-11-16
popup.nrat_date
2020-05-18 / 2026-06-30
