Search academic texts

Information × Registration Number 0501U000234, Doctoral dissertation Status д.ф.-м.н. Date 06-06-2001 popup.evolution o Title Formation Mechanisms of Thin Films Obtained by Different Types of Ion-Plasmous Deposition Author Shaginyan Leonid Robertovych, popup.head Kurdyumov Oleksandr Vyacheslavovych popup.opponent Макара Володимир Арсентьєвич popup.opponent Сидоренко Сергій Іванович popup.opponent Саєнко Володимир Антонович Description Дисертація присвячена встановленню загальних закономірностей та виявленню найважливіших фізичних факторів, відповідальних за формування складу і структури плівок, отримуваних: реакційним термоіонним осаджуванням, різними модифікаціями магнетронного розпилення, методом активованого СВЧ-розрядом хімічного осадження і лазерного импульсного випаровування. Встановлено, що вид плівкоутворювальних частинок (атоми, молекули, атомні кластери) і енергія частинок, що находять на поверхню росту, для всіх методів осадження є універсальними факторами, що визначають їхній склад і структуру. Показано, що умовами, які визначають повну керованість властивостями плівок, є атомарний склад плівкоутворювальних частинок і регульована енергія частинок, що бомбардують поверхню росту. Отримані результати дозволяють прогнозувати характеристики плівок залежно від методу осаджування та усвідомлено підходити до їхнього керування. (див. продовження) Registration Date 2001-06-06 popup.nrat_date 2020-04-04 Close