Registration Number
0516U000394, Doctoral dissertation
Status
д.т.н.
Date
22-04-2016
popup.evolution
.
Title
Scientific basis of formation of distribution of ion fluxes with specified parameters in setups of plasma-ion treatment of surfaces
Author
Baranov Oleg,
popup.head Kostyuk Gennadii
popup.opponent Добротворський Сергій Семенович
popup.opponent Хороших Володимир Максимович
popup.opponent Ванін Віктор Антонович
popup.opponent Саленко Олександр Федорович
popup.rada
National Aerospace University named by N.E.Zhukovsky "Kharkov aviation institute"
Description
Об'єкт дослідження - явище впливу магнітного поля на параметри іонних потоків у технологічних пристроях плазмово-іонної обробки; мета - підвищення ефективності плазмово-іонної обробки шляхом формування розподілу іонних потоків; методи дослідження та апаратура - аналіз та синтез технологічних процесів плазмово-іонної обробки на основі комп'ютерного моделювання генерації плазми в магнітному полі аркової конфігурації та взаємодії плазми з магнітними пастками з конфігурацією пробкотрона; експериментальні дослідження виконано з використанням установки "Булат-6", мікроскопу металографічного МІМ-7, оптичного мікроскопу Neophot 30 ZEISS, електронного мікроскопу "РЕМ-106" та інструментального мікроскопу БМІ-1Ц; теоретичні і практичні результати - запропоновано метод формування розподілу іонного потоку шляхом утворення системи магнітних пасток електронів плазми; запропонований метод дозволяє обробляти поверхні діаметром 400 мм; швидкість іонного очищення збільшено до 20 разів, швидкість осадження покриттів - в 2-5 разів; новизна - набули розвитку принципи функціонування пристроїв з арковою конфігурацією магнітного поля, яка є раціональною в разі генерації плазми за допомогою поверхні; доведено, що конфігурація з магнітними дзеркалами біля джерела плазми та поверхні є раціональною для формування потоків під час оброблення плазмою зовнішнього джерела; вдосконалено теорію підпалу розряду в частині впливу магнітного поля; набула розвитку теорія стаціонарного режиму магнетронного розряду; розроблено теоретичні основи формування розподілу іонних потоків під час оброблення поверхні плазмою зовнішнього джерела; ступінь упровадження - пристрій високої продуктивності було упроваджено на ДП ХМЗ "ФЕД" для осадження рівнотовщинних покриттів на твердосплавні різальні пластини; результати роботи упроваджені в навчальний процес Національного аерокосмічного університету ім. М. Є. Жуковського "ХАІ"; сфера (галузь) використання - машинобудування.
Registration Date
2016-05-19
popup.nrat_date
2020-04-03 / 2026-06-29
