Реєстраційний номер
0516U000394, Докторська дисертація
На здобуття
д.т.н.
Дата захисту
22-04-2016
Статус
Захищена
Назва роботи
Наукові основи формування розподілу іонних потоків із заданими характеристиками в пристроях плазмово-іонної обробки поверхні
Здобувач
Баранов Олег Олегович,
Керівник Костюк Геннадій Ігорович
Опонент Добротворський Сергій Семенович
Опонент Хороших Володимир Максимович
Опонент Ванін Віктор Антонович
Опонент Саленко Олександр Федорович
Установа, організація, у вченій раді якої відбудеться/відбувся захист
Національний аерокосмічний університет ім. М.Є. Жуковського "Харківський авіаційний інститут"
Опис
Об'єкт дослідження - явище впливу магнітного поля на параметри іонних потоків у технологічних пристроях плазмово-іонної обробки; мета - підвищення ефективності плазмово-іонної обробки шляхом формування розподілу іонних потоків; методи дослідження та апаратура - аналіз та синтез технологічних процесів плазмово-іонної обробки на основі комп'ютерного моделювання генерації плазми в магнітному полі аркової конфігурації та взаємодії плазми з магнітними пастками з конфігурацією пробкотрона; експериментальні дослідження виконано з використанням установки "Булат-6", мікроскопу металографічного МІМ-7, оптичного мікроскопу Neophot 30 ZEISS, електронного мікроскопу "РЕМ-106" та інструментального мікроскопу БМІ-1Ц; теоретичні і практичні результати - запропоновано метод формування розподілу іонного потоку шляхом утворення системи магнітних пасток електронів плазми; запропонований метод дозволяє обробляти поверхні діаметром 400 мм; швидкість іонного очищення збільшено до 20 разів, швидкість осадження покриттів - в 2-5 разів; новизна - набули розвитку принципи функціонування пристроїв з арковою конфігурацією магнітного поля, яка є раціональною в разі генерації плазми за допомогою поверхні; доведено, що конфігурація з магнітними дзеркалами біля джерела плазми та поверхні є раціональною для формування потоків під час оброблення плазмою зовнішнього джерела; вдосконалено теорію підпалу розряду в частині впливу магнітного поля; набула розвитку теорія стаціонарного режиму магнетронного розряду; розроблено теоретичні основи формування розподілу іонних потоків під час оброблення поверхні плазмою зовнішнього джерела; ступінь упровадження - пристрій високої продуктивності було упроваджено на ДП ХМЗ "ФЕД" для осадження рівнотовщинних покриттів на твердосплавні різальні пластини; результати роботи упроваджені в навчальний процес Національного аерокосмічного університету ім. М. Є. Жуковського "ХАІ"; сфера (галузь) використання - машинобудування.
Дата реєстрації
2016-05-19
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-03 / 2026-06-29
