Registration Number
0593U000027, Doctoral dissertation
Status
д.ф.-м.н.
Date
25-12-1992
popup.evolution
.
Title
Author
Романюк Борис Николаевич,
popup.opponent Птушинский Ю.Г.
popup.opponent Баранский П.И.
popup.opponent Мордкович В.Н.
popup.rada
Description
Объект исследования: Полупроводниковые кристаллы кремния и слоистые структуры диэлектрик-полупроводник. Цель исследования: Разработка научных основ ионно-стимулированного формирования слоистых структур и изучение процессов переноса и взаимодействия точечных дефектов с атомами примесей в кремнии. Методы исследования и аппаратура: Просвечивающая и растровая электронная микроскопия, рентгеновская спектроскопия, комбинационное рассеивание и электроотражение света, резерфордовское рассеивание альфа-частиц; электронные микроскопы, установки для имплантации, оптические приборы, Оже-спектрометр. Теоретические результаты и новизна: Установление механизмов ионно-стимулированного упорядочивания; кристаллические решетки; изучение механизмоа стимулированного гетерирования; выявление эффектов лазерно-стимулированной диффузии кислорода и каталитической роли угля. Практические результаты и новизна: Разработана и внедрена в производство технология гетерирования при эпитаксионном росте пленок. Предложены методы создания скрытых диэлектрических слоев и p-n переходов при низких температурах. Получено 10 авторских свидетельств на изобретение. Предмет и степень внедрения: Технология гетерирования примесей в эпитаксиальных пленках внедрена на ВО "Гама" г.Запорожье. Эффективность внедрения: Экономический эффект от внедрения результатов 3 млн.крб. Сфера (область) использования: Микроэлектроника, технология полупроводниковых материалов.
Registration Date
2000-02-28
popup.nrat_date
2021-03-18 / 2026-06-30
